高精度(du)微型(xing)振鏡/壓電掃描鏡

AU-M3-RS微型振鏡將微(wei)(wei)型壓電馬(ma)達、精密導向系統、位移(yi)傳感器(qi)、微(wei)(wei)處理器(qi)集成(cheng)到(dao)緊湊的空(kong)間(jian)中，該模塊擁(yong)有超小的體積(ji)（直徑(jing)<12mm），在緊湊的空間(jian)中包(bao)含一個(ge)世界上(shang)zui小的壓電馬達和IC驅動，但卻(que)可以提供更高(gao)的功率和可靠性，精(jing)度比電(dian)磁(ci)電(dian)機高(gao)十倍。內置(zhi)微處(chu)理器(qi)及(ji)PID控制器，無需外加控制器，只需要通過(guo)標準的I2C 或者SPI接口(kou)輸入簡單的串(chuan)行(xing)命令就可以驅動旋(xuan)轉(zhuan)臺。內置(zhi)位移(yi)傳(chuan)感器，使微型振鏡的(de)角分辨率達到(dao)0.025°。采(cai)用*的自鎖(suo)設計，只有在移動時才使用動力(li)，使其擁有極(ji)低(di)的功(gong)耗。

壓電陶瓷電機微(wei)型振鏡、壓(ya)電陶瓷電機驅動(dong)微型振鏡、微機械微型振鏡(jing)，微型振鏡(jing)，MENS掃描鏡(jing)，微型掃描鏡(jing)

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

不(bu)需(xu)要外(wai)部控制器。該模(mo)塊將(jiang)PID控制器集成到電路(lu)板上，只需要通過標(biao)準的(de)I2C 或者SPI接口輸入(ru)簡單(dan)的串行(xing)命令就(jiu)可以驅動該控制器。可以通(tong)過(guo)USB適配器連接電(dian)腦，直(zhi)接通過(guo)軟件控制(zhi)聚焦模塊的(de)運動(dong)。操(cao)作簡單使用(yong)方便。

AU-M3-RS擁有以下幾種開(kai)發套件(jian)：

①光束(shu)控制和鏡(jing)面定位(wei)系統，該系統是(shi)一個完整的光束控(kong)制系統(tong)。在緊湊(cou)的體積(ji)（直徑12mm）中包含壓電(dian)馬達、位(wei)置(zhi)傳感器、軸承(cheng)以及內置(zhi)控(kong)制器。在微型振(zhen)鏡上(shang)安(an)裝了一個鍍鋁膜的(de)鏡子，每秒可(ke)旋轉1100°，精(jing)度可達到(dao)0.025°。點(dian)對點(dian)光束(shu)控制和動態掃描頻率可達100Hz。鏡子的偏轉角度可達到±20°采用*的(de)自鎖設計，只有(you)在(zai)移動時才使用動力，使其擁有(you)極低的(de)功耗。輸入電壓(ya)只需要3.3V。

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

單軸鏡面定位開發套件（AU-DK-M3-RS-U-1M-20）

雙軸光束控制系統（AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L）

②旋(xuan)轉(zhuan)定位(wei)平(ping)臺（AU-M3-RS-U-360）是集壓電馬達(da)、位(wei)置傳(chuan)感器(qi)(qi)、軸承以及(ji)內置控制器(qi)(qi)于(yu)一體的(de)運動系統(tong)。但(dan)是其(qi)擁有超小的(de)體積，只有12（D）´12.5（H）。該系統可(ke)以提(ti)供連續的360&deg;運動，并(bing)且擁有位置反(fan)饋(kui)系統，使(shi)其分(fen)辨(bian)率可達到0.025°。該微型振鏡只需要輸入3.3V的(de)直流電壓，運動時耗能僅(jin)為500mW，因此(ci)可以用電(dian)池或者(zhe)USB作為(wei)電源，這非常利于手提(ti)和便攜式設備。

u  主要特點

• 成本低
• 超小尺寸
• 低功耗
• 無(wu)外(wai)加控制(zhi)器
• 高分辨率（0.0057°）

u  主(zhu)要應用

皮膚(fu)科激光、熒光顯微鏡(jing)和成(cheng)像儀器、體(ti)內和體(ti)外的微激光手術、3D打印、激光(guang)(guang)雷達(da)、三(san)維測量、遙(yao)感(gan)、防抖動設備、激光(guang)(guang)打標(biao)(biao)、激光(guang)(guang)雕(diao)刻、自由(you)空間光(guang)(guang)通信、目標(biao)(biao)指(zhi)示、目標(biao)(biao)探(tan)測、目標(biao)(biao)跟蹤等。

u  主要參數