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光學部件

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• LEAsys非(fei)接觸式超聲(sheng)波(bo)無(wu)損檢測系統(tong)

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• OCT系統

• 雙折射測量系統

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• 多驅動自適應鏡頭

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• 光束整形器件

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• 體(ti)布拉格光柵（VBG，VHG）

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• 超高真空腔

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• F-Theta透鏡與擴束鏡